真空燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過(guò)燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場(chǎng)及柵線燒結(jié)。為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過(guò)程中的脫蠟(潤(rùn)滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進(jìn)行,燒結(jié)時(shí)需要對(duì)燒結(jié)溫度、保護(hù)氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行的控制。 真空燒結(jié)爐是在真空或保護(hù)氣氛條件下,利用中頻感應(yīng)加熱的原理使硬質(zhì)合金刀頭及各種金屬粉末壓制體實(shí)現(xiàn)燒結(jié)的成套設(shè)備,是為硬質(zhì)合金、金屬鏑、陶瓷材料的工業(yè)生產(chǎn)而設(shè)計(jì)的。
真空燒結(jié)爐主要用于硬質(zhì)合金、粉沫冶金行業(yè)生產(chǎn)各種粒度的碳化鎢粉、碳化鈦粉、碳化釩粉等金屬粉沫及復(fù)合金屬粉沫。該系統(tǒng)對(duì)碳化硅質(zhì)量有明顯改善,與傳統(tǒng)碳化爐相比,具有反應(yīng)*、粒度均勻、化合含碳量高、游離含碳量低等優(yōu)勢(shì),而且產(chǎn)量高、抗疲勞條件好、使用壽命長(zhǎng)。
真空燒結(jié)爐的溫度控制系統(tǒng)的規(guī)格是什么:
1.溫度控制: PID自動(dòng)控制溫度,數(shù)字顯示(可編程度30段曲線;全自動(dòng)升溫、保溫、降溫)上限報(bào)警、偏差報(bào)警、程序運(yùn)行結(jié)束自動(dòng)停止、無(wú)需人值守(可做成一鍵抽真空升降溫,全程PLC控制)
2.溫控儀表線性電流輸出,觸發(fā)器移相觸發(fā)反并聯(lián)雙向可控硅。
3.控溫?zé)犭娕疾捎肧分度熱電偶
4.警報(bào)動(dòng)作:
a.超溫報(bào)警:爐內(nèi)溫度上升達(dá)到報(bào)警溫度時(shí),自動(dòng)切斷電源,報(bào)警提示燈亮。
b.斷偶報(bào)警:熱電偶開(kāi)路,儀表報(bào)警并自動(dòng)斷電。